半導體專用冷水機主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的的制冷循環裝置,屬于生產過程中的溫控裝置,研發人員在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,顯著地提高了冷水機的穩定性、控制精度和響應速度。
半導體制造工序多, 產品廣泛用于光伏太陽能電池、LED.集成電路等行業,涉及的設備有氧化爐、單晶爐、PVD(物理氣相沉積)、PECVD、MOCVD、光刻機、膠水顯影機、干法蝕刻機、化學機械拋光機、晶圓貼合機、清洗機、離子注入機、減薄機、擴散爐、切割機、研磨機、引線鍵合機和塑封壓機。
半導體專用冷水機主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的的制冷循環裝置,屬于生產過程中的溫控裝置,研發人員在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,顯著地提高了冷水機的穩定性、控制精度和響應速度。
機組設計參數
溫度調節范圍:-30℃-80℃,溫度控制精度:≤±0.5℃,
流量調節范圍:0-200L/min,流量控制精度:±0.2L/min,
壓力調節范圍:0-500kpa, 壓力控制精度:±2kpa
1. 系統穩定可靠:核心部件選用國際知名品牌,可靠性高、噪音低,24小時連續運轉設計。
2.先進控制技術:采用微電腦版控制器,實現全自動智能化控制,系統水溫,水流,故障信號報警直接顯示,多種精度可以選擇±0.1℃、±0.5℃等)
3.多重安全防護:超溫保護 、電流保護、水流報警、水位報警、壓力報警、缺項保護、逆相保護、電機過載等。
4.可接受客戶非標制作,儀器尺寸、流量、溫控精度,壓力等,可選配RS485(CAN或以太網)通訊接口并提供通訊協議
弘星制冷是一家集制造、研發、銷售為一體的冷暖系統整體解決方案服務商,公司秉承為客戶提供高性能解決方案。公司引進優秀技術人才,開展研發制造,機組溫度范圍-80℃-300℃,精度控制范圍可達±0.1℃,流量精度控制在0.5L/min等。產品涵蓋冷熱測試系統、熱管理系統、防爆冷水機組、變頻冷水機、大溫差冷水機、雙溫雙控冷水機、復疊式低溫冷凍機、螺桿式冷水機。應用于生物制藥、石油化工、食品加工、新能源、新材料、集成電路、實驗儀器等行業。目前與多家公司形成了穩定的供貨協議,為諸多行業TOP10企業提供完美的解決方案。